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權(quán)利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設于該爐頂部并伸入爐內(nèi)的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環(huán)形氣體分布器(11)；其特征在于經(jīng)輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導向裝置(20);該氣流導向裝置(20)為碗形，其包括設于氣流導向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設于所述中軸孔(2-1)兩側(cè)的一對電 極孔(2-2)、以及設于所述中軸孔(2-1)兩側(cè)并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)

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而石墨加熱器作為加熱系統(tǒng)的核心部件,通過自身發(fā)熱作為整個熱場的熱量來源,因此也是整個熱場中為核心的部件。而加熱器的設計需要綜合考慮熱學、力學、電學、機械等各個領(lǐng)域內(nèi)的知識,比較復雜,因此很多使用的加熱器都存在種種先天缺陷,造成使用時發(fā)熱不足、打火、變形過大、壽命過短等問題。下文將從加熱器的使用要求入手,分析加熱器的設計。2加熱器的工作原理與使用要求分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，除塵器內(nèi)的空間由圓柱容器經(jīng)上、下蓋密封形成，整個空間分成兩大區(qū)域：除塵區(qū)域和排氣區(qū)域。含塵氣流由切線進氣口進入除塵區(qū)域，沿外壁由下而上螺旋形旋轉(zhuǎn)運動。氣流作旋轉(zhuǎn)運動時，塵粒在慣性離心力的推動下，要向圓柱容器內(nèi)壁移動。到達內(nèi)壁的塵粒在氣流和重力的共同作用下，沿壁面落到容器底部。這種情況，離心力是除塵器的主要作用力，塵粒與氣流分離界面是圓柱容器的內(nèi)壁。還有，圓柱容器內(nèi)設置內(nèi)外兩層金屬網(wǎng)，內(nèi)層金屬網(wǎng)纏繞于內(nèi)側(cè)的6 根金屬桿上。外層金屬網(wǎng)纏繞于外側(cè)的8 根金屬桿上。這14 根金屬桿被固定在上盤和盤上。它們固聯(lián)于圓柱容器上法蘭。圓柱容器設置的排氣筒是排氣區(qū)域。