當(dāng)超大規(guī)模集成電路的特征尺寸縮小至小于65nnm或者更小時,傳統(tǒng)的二氧化硅柵介質(zhì)層的厚度就需要小于1.4nm,而如此薄的二氧化硅層會大幅度增加器件功耗,并且減弱柵極電壓控制溝道的能力。在等效氧化層厚度保持不變的情況下,使用高介電材料替換傳統(tǒng)的柵極介質(zhì),使用加大介質(zhì)層物理厚度的方法,可以明顯減弱直接隧穿效應(yīng),并增加器件的可靠性。所以,找尋高介電的柵介質(zhì)材料就成了當(dāng)務(wù)之急。在高介電柵介質(zhì)材料中,由于五氧化二鉭既具有較高的介電常數(shù)(K-26),又能夠兼容與傳統(tǒng)的硅工藝,被普遍認(rèn)為是在新一代的動態(tài)隨機存儲器(DRAM)電容器件材料中相當(dāng)有潛力的替代品
鉭在單質(zhì)中,僅次于碳,鎢,錸和鋨,第五。鉭富有延展性,可以拉成細(xì)絲式制薄箔。其熱膨脹系數(shù)很小。每升高一攝氏度只膨脹百萬分之六點六。除此之外,它的韌性很強,比銅還要。
鉭是稀有金屬礦產(chǎn)資源之一,是電子工業(yè)和空間技術(shù)發(fā)展不可缺少的戰(zhàn)略原料
在制取各種無機酸的設(shè)備中,鉭可用來替代不銹鋼,壽命可比不銹鋼提高幾十倍
電容器是鉭的主要終消費領(lǐng)域,約占總消費量的60%。美國是鉭消費量的國家,1997年消費量達500噸,其中60%用于生產(chǎn)鉭電容器。日本是鉭消費的第國,消費量為334噸。
一般來說,廢鉭材回收的主要步驟包括收集、分類、預(yù)處理、再生和再利用等環(huán)節(jié)。其中,預(yù)處理是一個關(guān)鍵步驟,它包括去除雜質(zhì)和清洗等過程,以使廢鉭材能被重新利用。