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美國KAYEX\國外以美國KAYEX 為代表,生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上,進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進入市場,已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關(guān)機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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