深圳鉭鈮礦化驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室/檢測中心秉承:管理科學(xué),公平公正;操作規(guī)范,數(shù)據(jù)準(zhǔn)確;安全保密,廉潔自律的質(zhì)量方針和第三方公正實(shí)驗(yàn)室的職業(yè)道德,熱誠為國內(nèi)客戶提供標(biāo)準(zhǔn)、檢測、認(rèn)證工作的服務(wù)。
利用磁控反應(yīng)濺射技術(shù)制備了氮化鉭薄膜,利用TEM、XRD技術(shù)研究了薄膜的微觀結(jié)構(gòu)。研究結(jié)果表明:薄膜中多相共存;薄膜晶粒細(xì)?。ǎ保叮睿碜笥遥?;同時(shí)還發(fā)現(xiàn),在一定工作壓力下,隨著氮分壓的提高,氮化物晶粒形成的取向改變,即平行于基體表面生長的晶面會有改變。
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕