1960年Skarstrom提出PSA專利，他以5A沸石分子篩為吸附劑，用一個兩床PSA裝置，從空氣中分離出富氧，該過程經過改進，于60年代投入了工業(yè)生產。80年代，變壓吸附技術的工業(yè)應用取得了突破性的進展，主要應用在氧氮分離、空氣干燥與凈化以及氫氣凈化等。其中，氧氮分離的技術進展是把新型吸附劑碳分子篩與變壓吸附結合起來，將空氣中的O2和N2加以分離，從而獲得氮氣。

在大自然中，有純凈的碳。比如說，金剛石便是非常純凈的碳——在純凈的氧氣中，金剛石居然會燃燒，變成二氧化碳！金剛石是堅硬的東西，人們用它來裁玻璃，或者裝在鉆探機的鉆頭上，成為向地層深處進軍的開路。不過，天然的金剛石終究不多，不能滿足工業(yè)上的需要。我國已試制成功人造金剛石——在高溫高壓下，用石墨制造金剛石。

空分裝置就是用來把空氣中的各組份氣體分離，分別生產空氣組分的氧氣、氮氣，氬氣等等氣體的一套工業(yè)設備裝置。