江蘇通州分子泵回收 江蘇通州長晶爐回收
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具體實施方式、本實施例的直拉式單晶生長爐包括輸入管12、與氬 氣輸入管12相連通的環(huán)形氣體分布器11;其特征在于經(jīng)輸入管12 輸入的氣壓為0. 8 x 10a0. 9 x 10a,流量為30L/min。還包括設(shè)于該爐的坩堝支持器14下方和該爐底部的排氣口 13之間 的碗形的氣流導(dǎo)向裝置20;其包括設(shè)于氣流導(dǎo)向裝置20底部的中軸 孔2-l、設(shè)于所述中軸孔2-1兩側(cè)的一對電極孔2-2、以及設(shè)于所述中軸孔 2-1兩側(cè)并與該爐的排氣口 13相對的通氣孔2-3;該爐的石墨中軸21穿過所述氣流導(dǎo)向裝置20的中軸孔2-1，該爐的一對電極柱15分別穿過所述電 極孔2-2，該爐的排氣口 13與氣流導(dǎo)向裝置20的各通氣孔2-3相連通，氣 流導(dǎo)向裝置20的上端部2-4設(shè)于該爐的保溫筒17與發(fā)熱體16之間。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，液壓傳動裝置能準(zhǔn)確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機(jī)穩(wěn)定可靠，并便于機(jī)動取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過振動消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。

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提拉式單晶爐特點籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm，適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動式翻板閥設(shè)在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。