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氦質(zhì)譜檢漏的基本方法-噴氦法

使用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏有噴氦法（也叫真空法）、吸槍法等多種方式，對真空設(shè)備進(jìn)行檢漏常用的是噴氦法。

啟動檢漏儀并把它與被測工件相連，檢漏儀對被測工件內(nèi)部抽真空，此時對待檢真空設(shè)備外部各位置進(jìn)行噴氦，當(dāng)噴氦的位置有泄漏時，氦氣就會從漏點(diǎn)進(jìn)入被測工件從而被檢漏儀檢測到。