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蘇州金閶濾波柜回收蘇州金閶提拉式長晶爐回收

更新時間:2025-09-28 [舉報]
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直拉硅單晶熱場加熱器設計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導流系統(tǒng)包括導流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。
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美國國外以美國KAYEX為代表,生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上,進的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進入市場,已成為半導體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關機的全過程由計算機實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,進一步為了當不再繼續(xù)加料時,可以更方便地將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置,并方便外部化料器的移動、拆解和清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括化料器升降驅(qū)動裝置和化料器旋臂,所述底座上設置有立柱,所述化料器旋臂鉸接在立柱上,所述化料器升降驅(qū)動裝置連接在化料器旋臂上,所述外部化料器連接在化料器升降驅(qū)動裝置上,以便在不繼續(xù)加料時,通過化料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動外部化料器上升不干涉主爐室坩堝上升的位置;和化料器升降驅(qū)動裝置及外部化料器隨化料器旋臂一起轉(zhuǎn)動。進一步提供了一種化料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu),所述化料器升降驅(qū)動裝置包括支撐桿、絲杠、電機和連接塊,所述支撐桿連接在化料器旋臂上,所述絲杠可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿上,所述電機連接在絲杠上,所述連接塊通過螺紋連接在絲杠上,所述外部化料器連接在連接塊上,以便通過電機驅(qū)動絲杠旋轉(zhuǎn),進而將絲杠的旋轉(zhuǎn)運動轉(zhuǎn)換為連接塊的直線運動,并通過所述連接塊帶動外部化料器升降。

標簽:提拉式長晶爐回收
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