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太陽能光伏發(fā)電站和風(fēng)力發(fā)電站的相關(guān)設(shè)備。其中硅單晶生長爐設(shè)備有兩大系列三個品種,具有自主知識產(chǎn)權(quán)。生產(chǎn)的單晶硅生長爐(TDR85/95/105-JN)、單晶硅生長爐(TDR85/95/105-JN)國外以美國KAYEX為代表,生產(chǎn)全自動硅單晶體生長爐。KAYEX是目前世界上大,的硅單晶體生長爐制造商之一。KAYEX的產(chǎn)品早在80年代初進(jìn)入市場,已成為半導(dǎo)體行業(yè)使用多的品牌。該生長的硅晶體生長爐從抽真空-檢漏-熔料-引晶-放肩-等徑-收尾到關(guān)機(jī)的全過程由計算機(jī)實行全自動控制。晶體產(chǎn)品的完整性與均勻性好,直徑偏差在單晶全長內(nèi)僅±1mm。主要產(chǎn)品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分別為30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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結(jié)合單晶爐提拉系統(tǒng)實際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了系統(tǒng)UG三維實體建模、動平衡數(shù)學(xué)建模、計算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計算的結(jié)果明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實際結(jié)構(gòu),進(jìn)行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計算,三維軟件UG建模計算和該設(shè)備“以動測靜”法的平衡實驗分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,為現(xiàn)有技術(shù)的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長 爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構(gòu)示意圖3為實施例1中直拉式單晶生長爐的氣流導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實施例1中直拉式單晶生長爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖7為實施例1中直拉式單晶生長爐的另一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。