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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機穩(wěn)定可靠，并便于機動取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過振動消除應(yīng)力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。

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直拉硅單晶熱場加熱器設(shè)計分析\1熱場及加熱器簡介直拉硅單晶爐的熱場是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進行單晶生長的整個溫度場系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，為了方便副爐室3移動到取晶位，并方便副爐室3的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13，所述所述副爐室3通過副爐室旋臂14連接在副爐室升降驅(qū)動裝置12上，以便通過副爐室升降驅(qū)動裝置12驅(qū)動副爐室旋臂14升降，并通過副爐室旋臂14帶動副爐室3升降，所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13連接在副爐室升降驅(qū)動裝置12和副爐室旋臂14之間，以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13隨副爐室旋臂14一起升降，并通過副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置13驅(qū)動副爐室旋臂14旋轉(zhuǎn)，副爐室旋臂14又帶動副爐室3旋轉(zhuǎn)。