化學(xué)組分上的均勻性： 就是說在薄膜中，化合物的原子組分會由于尺度過小而很容易的產(chǎn)生不均勻特性，SiTiO3薄膜，如果鍍膜過程不科學(xué)，那么實際表面的組分并不是SiTiO3，而可能是其他的比例，鍍的膜并非是想要的膜的化學(xué)成分，這也是真空鍍膜的技術(shù)含量所在。 具體因素也在下面給出。

關(guān)于真空鍍膜機所用的塑料材料，需要與膜層結(jié)合性高，放氣量小，受熱穩(wěn)定，一起滿意這三個條件的塑料資料是十分少的，但塑料資料在工業(yè)出產(chǎn)中的應(yīng)用卻十分廣泛，所以塑料真空鍍膜機的應(yīng)用也隨之發(fā)展起來，為了使更多的塑料投入到真空鍍膜中，常常經(jīng)過各種方法改善。

定期保養(yǎng)，有人會問常規(guī)保養(yǎng)和定期保養(yǎng)的區(qū)別?事實上，每個設(shè)備都有使用壽命。例如，用于擴散泵的硅油具有大約兩年的使用壽命。我們早點換掉它。這是浪費嗎?不，在生產(chǎn)中，設(shè)備故障是不可能發(fā)生的事情。做好日常維護和定期保養(yǎng)，不僅可以延長設(shè)備的使用壽命，還可以減少運行故障，提高生產(chǎn)效率。

暴露在空氣中的真空鍍膜機表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、浸出干燥過程、機械處理、擴散和偏析過程都增加了各種組分的表面污染物。真空材料表面的常見污染物如下。

　?、儆椭?潤滑劑、切削液、真空油脂等。在加工、組裝和操作過程中被污染;

　　②水基類:操作時的手汗、吹氣時的水蒸氣、唾液等。

　　③表面氧化物:材料長時間放置在空氣中或潮濕空氣中形成的表面氧化物;

　?、芩?、堿、鹽類物質(zhì):清洗時的殘留物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等。

　?、莪h(huán)境空氣中的拋光殘渣、灰塵和其他有機物等。

前期清洗真空鍍膜機可以減少很多麻煩，避免濺射鍍膜機的很多小問題，對真空鍍膜機的工作效率和鍍膜質(zhì)量有非常積極的作用。它可以大大提高真空系統(tǒng)中所有壁面和其他部件表面在各種工況下的工作穩(wěn)定性。這些工作條件包括:高溫、低溫以及電子、離子、光子或重粒子的發(fā)射和轟擊。

在檢漏過程中，為了做好檢漏工作，有必要注意一些問題。

，檢查虛漏是否仍為實漏，因為工件數(shù)據(jù)加熱后會出現(xiàn)不同程度的氣體，有可能被誤認(rèn)為是從外部流出的氣體，這就是虛漏，要消除這種情況。

第二，測試真空室的氣密性功能，確保氣密性功能符合要求。

三、檢查漏孔的大小、形狀、方位、漏速，編制解決方案并實施。

四、得出檢測儀器檢漏的檢出率和靈敏度，要檢查刻度的泄漏情況，防止一些泄漏孔被疏忽，提高泄漏檢測的準(zhǔn)確性。

五、掌握檢漏儀的反應(yīng)時間和消除時間，把握好時間，檢漏儀操作到位，時間少，檢漏功能一定差，時間長，浪費檢漏氣和人工電。

六、還要防止泄漏堵塞，有時由于操作失誤，在檢漏過程中，一些灰塵或液體將泄漏堵塞，認(rèn)為孔的方向沒有泄漏，但當(dāng)由于內(nèi)外壓差進(jìn)展或其他原因?qū)е滦孤┛孜炊氯麜r，泄漏仍在那里。