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基于ANSYS軟軸型單晶爐提拉系統(tǒng)晃動分析\人工晶體是太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)和半導體行業(yè)發(fā)展所需的核心原材料,單晶爐是制造人工晶體的設備,目前的單晶爐大部分采用軟軸提拉系統(tǒng)。由于受到液/固相變規(guī)律的制約,單晶爐在實際工作中要求提拉機構既要做旋轉(zhuǎn)運動,又要做上升運動,同時還要保持速度穩(wěn)定,對中性好,不能出現(xiàn)蠕動和擺動。提拉系統(tǒng)的晃動會引起生長瞬間微觀擴散層的變化,造成有效分凝系數(shù)的變動,導致微觀摻雜劑濃度分布的徑向不均勻,引起對流情況不穩(wěn)定,導致生長時固液界面過冷度的變化,為枝晶生長提供條件[1],會嚴重地影響單晶體的內(nèi)在品質(zhì)。藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，所述氣流導向裝置20的中軸孔2-1與該爐的石墨中軸21活 動密封連接，以防止因該中軸孔2-1與石墨中軸21之間的間隙而漏氣，影 響排氣效果，氣流導向裝置20的電極孔2-2分別與該爐的電極柱15密封連 接，以防止因該電極孔2-2與電極柱15之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的保溫 筒17密封連接，以防止因氣流導向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的 保溫筒17之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置20各通氣孔2-3與該爐的排氣口 13通過通 氣管19相連通，以提高排氣效果。所述氣流導向裝置20由石墨制成，石墨具有強度高、抗熱震性好、耐 高溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機加工等優(yōu)點。

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液壓傳動裝置能準確的完成主爐室和副爐室的開啟，爐室、副爐室上升到位后對稱旋出，保主機穩(wěn)定可靠，并便于機動取出晶體，拆裝熱場系統(tǒng)和清理爐內(nèi)各部。爐體部件采用316L不銹鋼，法蘭整體鍛造，經(jīng)過振動消除應力、缺陷檢查和探傷檢驗及氦質(zhì)樸檢漏儀檢漏。