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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長(zhǎng)設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長(zhǎng)速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對(duì)單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動(dòng)平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長(zhǎng)晶爐回收，多晶長(zhǎng)晶爐回收，臥式長(zhǎng)晶爐回收，拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收， 單晶爐構(gòu)成編輯=提拉頭：主要由安裝盤 減速機(jī) 籽晶腔 劃線環(huán) 電機(jī) 磁流體 籽晶稱重頭 軟波紋管等其他部件組成/副室：主要是副室筒以及上下法蘭組成/ 爐蓋：副室連接法蘭，翻板閥，觀察窗 抽真空管道 組成/爐筒：包括取光孔下爐筒：包括抽真空管道/底座機(jī)架：全鑄鐵機(jī)架和底座/坩堝下傳動(dòng)裝置：主要由磁流體 電機(jī) 坩堝支撐軸 減速機(jī) 軟波紋管 立柱 上下傳動(dòng)支撐架 導(dǎo)軌 等部件組成/分水器已經(jīng)水路布置：包括分水器，進(jìn)水水管，若干膠管 水管卡套等/管道布置：質(zhì)量流量計(jì) 3根以上的柔性管 不銹鋼管 3個(gè)壓力探測(cè)器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除塵裝置：油壓真空泵 水環(huán)真空泵 過濾器 真空管道 硬波紋管等/電源以及電控柜：電源柜 濾波柜 控制柜 以及連接線
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計(jì)長(zhǎng)輸入小板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))7.觸發(fā)放大板(兩塊)作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))8.PLC作用原理以及類型輸入輸出(好壞如何檢測(cè))9.歐陸表的型號(hào)原理,以及一般調(diào)節(jié)方式和輸入輸出(好壞如何檢測(cè)10.電壓表,電流表,數(shù)顯表原理作用,數(shù)量輸入輸出(好壞如何檢測(cè))11.真空計(jì)類型,原理作用以及輸入輸出(好壞如何檢測(cè))12.堝跟比如何調(diào)節(jié)13.手操合的作用輸入輸出(好壞如何檢測(cè))14.D/A板作用原理以及各元件名稱作用和原理圖,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))15.計(jì)算機(jī)的作用原理,操作以及調(diào)節(jié)方16.電源的原理型號(hào)以及作用,輸入輸出(好壞如何檢測(cè))17.絲相關(guān)作用18.相關(guān)電位器的型號(hào)作用
