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提拉式單晶爐特點(diǎn)籽晶提拉及旋轉(zhuǎn)部件:實(shí)現(xiàn)了籽晶軸較高轉(zhuǎn)速時(shí)的系統(tǒng)平穩(wěn)性；籽晶軸旋轉(zhuǎn)及提拉密封均采用的磁流體密封組件，無泄露，長期使用不需充磁；精密花鍵軸及各驅(qū)動直流伺服電機(jī)均為進(jìn)口件，確保系統(tǒng)具有很高的可靠性。提拉頭經(jīng)過嚴(yán)格的靜平衡和動平衡測試，高速旋轉(zhuǎn)下籽晶晃動小于2mm，適應(yīng)半導(dǎo)體工藝需求。坩堝升降及旋轉(zhuǎn)部件:使用超大鑄鐵立柱、雙滾動直線導(dǎo)航、精密滾珠絲杠以及進(jìn)口等功能件組合設(shè)計(jì)，確保坩堝系統(tǒng)在超重低速工況下長期平穩(wěn)運(yùn)行。浮動式翻板閥設(shè)在主副爐室之間，可在熱場維持工藝溫度的情況下，取出晶體，更換籽晶和補(bǔ)充加料進(jìn)行連續(xù)拉晶。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，生長Φ8“直拉硅單晶Φ8”熱場研究及數(shù)值模擬\隨著科學(xué)的飛速發(fā)展,出于提高生產(chǎn)率、降低成本的目的,器件廠家隨著生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大逐步要求增大硅片直徑。硅單晶直徑增大后,大熔硅體積、嚴(yán)重的熱對流使單晶氧含量增大。晶體直徑的增大也使結(jié)晶潛熱的散發(fā)更加困難,結(jié)晶速率難以提高。為了解決這兩個(gè)問題,本文在國產(chǎn)TDR-80單晶爐的基礎(chǔ)上,對熱場進(jìn)行了局部改造,施加了新型加強(qiáng)復(fù)合式熱屏。有限元法是一種能求得許多工程問題近似解的數(shù)值分析方法。由于拉單晶過程中投料量較大,爐體結(jié)構(gòu)復(fù)雜、造價(jià)昂貴,所以拉晶實(shí)驗(yàn)成本太高。
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數(shù)值仿真是用來獲得廉價(jià)的，完整的和細(xì)節(jié)的結(jié)晶過程，以此方法用來預(yù)測晶體生長,改善晶體生長技術(shù)。數(shù)值模擬是當(dāng)實(shí)驗(yàn)的費(fèi)用太昂貴或無法常規(guī)進(jìn)行時(shí)一種非常有用或的方法。舉例來說，對于無經(jīng)驗(yàn)人員，可以形象化展示熔體流動的歷史點(diǎn)缺陷和熱應(yīng)力細(xì)節(jié)。所以數(shù)值仿真是一種達(dá)到較高生產(chǎn)率和較好滿足市場對晶體直徑，質(zhì)量要求的辦法。面向過程的仿真軟件FEMAG為用戶提供了可以深入研究的數(shù)值工具,用戶通過有效的計(jì)算機(jī)模擬可以設(shè)計(jì)和優(yōu)化工作流程。通過對單晶爐熱場的仿真計(jì)算，優(yōu)化設(shè)計(jì)單晶爐的機(jī)械結(jié)構(gòu)，在拉晶過程中以仿真結(jié)果設(shè)定合理的理論拉晶曲線，可以在實(shí)際生產(chǎn)中是完全可以生長出合格的單晶棒。
