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工業(yè)爐：分為電爐和燃燒爐（狹義的工業(yè)爐指燃燒爐）2． 主要產(chǎn)品七大類：電阻爐、感應(yīng)爐、真空爐、電子束爐、熱處理（或熔煉）機(jī)組、熱處理輔助設(shè)備、燃燒爐三． 電阻爐：三大部件：加熱器、爐襯、耐構(gòu)件 　　1． 分為周期式及連續(xù)式兩大類 2． 周期式爐的特征：A． 爐料同時加入同時取出 B． 加熱時爐料基本不動（特殊情況除外：如滾筒爐，輥底爐） C． 工作區(qū)內(nèi)力求溫度均勻。 分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，原理簡介，把高純度的多晶硅原料放入高純石英坩堝，通過石墨加熱器產(chǎn)生的高溫將其熔化；然后，對熔化的硅液稍做降溫，使之產(chǎn)生一定的過冷度，再用一根固定在籽晶軸上的硅單晶體（稱作籽晶）插入熔體表面，待籽晶與熔體熔和后，慢慢向上拉籽晶，晶體便會在籽晶下端生長；接著，控制籽晶生長出一段長為100mm 左右、直徑為3～5mm的細(xì)頸，用于消除高溫溶液對籽晶的強(qiáng)烈熱沖擊而產(chǎn)生的原子排列的位錯，這個過程是引晶；隨后，放大晶體直徑到工藝要求的大小，一般為75～300mm，這個過程稱為放肩；接著，突然提高拉速進(jìn)行轉(zhuǎn)肩操作，使肩部近似直角；然后，進(jìn)入等徑工藝，通過控制熱場溫度和晶體提升速度，生長出一定直徑規(guī)格大小的單晶柱體；后，待大部分硅溶液都已經(jīng)完成結(jié)晶時，再將晶體逐漸縮小而形成一個尾形錐體，稱為收尾工藝。這樣一個單晶拉制過程基本完成，進(jìn)行一定的保溫冷卻后可以取出。