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所述化料器升降驅(qū)動裝置包括支撐桿191、絲杠192、電機(jī)193和連接塊194，所述支撐桿191連接在化料器旋臂18上，所述絲杠192可旋轉(zhuǎn)地支承在支撐桿191上，所述電機(jī)193連接在絲杠192上，所述連接塊194通過螺紋連接在絲杠192上，所述外部化料器7連接在連接塊194上，以便通過電機(jī)193驅(qū)動絲杠192旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將絲杠192的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為連接塊194的直線運(yùn)動，并通過所述連接塊194帶動外部化料器7升降。具體地，為了使得溶化后的硅料更好地進(jìn)入主爐室坩堝21內(nèi)，所述外部化料器7的底端和主爐室坩堝21之間還設(shè)置有用于導(dǎo)流溶化后的硅料的導(dǎo)流管20。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進(jìn)一步為了方便外部加料器的移動、拆卸和清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括用于驅(qū)動外部加料器升降的加料器升降驅(qū)動裝置和用于驅(qū)動外部加料器旋轉(zhuǎn)的加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，所述外部加料器通過加料器旋臂連接在加料器升降驅(qū)動裝置上，以便通過加料器升降驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂升降，并通過加料器旋臂帶動外部加料器升降，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接在加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋臂之間，以便加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置隨加料器旋臂一起升降，并通過加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動加料器旋臂旋轉(zhuǎn)，加料器旋臂又帶動外部加料器旋轉(zhuǎn)。進(jìn)一步提供了一種加料器升降驅(qū)動裝置的具體結(jié)構(gòu)，所述加料器升降驅(qū)動裝置包括升降絲桿、拖板和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，底座上設(shè)置有立柱，所述升降絲桿可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱上，所述拖板通過螺紋連接在升降絲桿上，所述加料器旋臂連接在拖板上，所述升降絲桿連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置上，以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動升降絲桿旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將升降絲桿的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為加料器旋臂的升降運(yùn)動。
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單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究\提拉法單晶爐是晶體生長設(shè)備中重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度,晶體尺寸,晶體質(zhì)量,易實(shí)現(xiàn)自動控制,因此獲得了廣泛的應(yīng)用。而此方法生產(chǎn)單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標(biāo),本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進(jìn)行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。
