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本文結合某單晶爐產品的研制 ,設計了一種實用的單晶爐提拉速度控制系統 ,并在實際生產中獲得成功應用。2　設計的關鍵圖 1示出了單晶爐提拉的工藝過程。提拉控制系統的驅動電機轉速 n經減速器、齒輪齒條減速后帶動提拉桿上下運動。根據硅單晶生產工藝 ,要求提拉速度 V能在 ( 0 .2～ 1 0 .0 ) mm/h內無級調節(jié) ,它相對于給定信號的線性精度 ± 2 %。經折算后 (見下節(jié)式 ( 3) ) 藍寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，一種實用的單晶爐提拉速度控制系統\前言半導體材料是半導體工業(yè)的基礎材料 ,在半導體材料中用量和用途廣的是半導體硅。當今 95 %以上的半導體器件是用硅材料制造的 ,99%以上的集成電路是硅集成電路。生產集成電路所需要的單晶硅 ,是在硅結晶生長開始時 ,用低速提拉、生長過程均速提拉的辦法制成的。提拉速度的控制性能將直接影響到晶體的質量。當今 ,隨著 IT產業(yè)的迅速發(fā)展 ,單晶硅生產市場需求劇,研制一種滿足工藝要求、低成本的提拉速度控制系統具有重要的實際意義。

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主要產品　　七大類：電阻爐、感應爐、真空爐、電子束爐、熱處理（或熔煉）機組、熱處理輔助設備、燃燒爐三． 電阻爐：三大部件：加熱器、爐襯、耐構件 　　1． 分為周期式及連續(xù)式兩大類 　　2． 周期式爐的特征： 　　A． 爐料同時加入同時取出 　　B． 加熱時爐料基本不動（特殊情況除外：如滾筒爐，輥底爐） 　　C． 工作區(qū)內力求溫度均勻3． 周期式電阻爐的分類　　A． 箱式爐 　　B． 臺車爐（分為自行式和牽引式），用作退火之用，加熱后工件隨爐冷卻 C． 井式爐