濺射鍍膜又分為很多種，總體看，與蒸發(fā)鍍膜的不同點在于濺射速率將成為主要參數之一。濺射鍍膜中的激光濺射鍍膜pld，組分均勻性容易保持，而原子尺度的厚度均勻性相對較差（因為是脈沖濺射），晶向（外沿）生長的控制也比較一般。

多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實現蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

眾所周知，真空鍍膜機的運行狀態(tài)將直接影響鍍膜產品的質量。為了更好地運行，有必要對真空鍍膜機進行維護。那么，你知道真空鍍膜機維護的意義嗎?　　設備的日常維護就是發(fā)現生產中的異?，F象，盡早解決。如果發(fā)現機械泵的油量減少，應該添加。不要認為應該定期換油。否則，在進行維護時，泵的轉子可能會嚴重磨損。比如有些軸承工件被夾住，就要更換軸承;否則壞了，問題就嚴重了，可能會出現電機燒毀等問題。

真空鍍膜機應在真空過程前對真空材料進行清洗，去除工件或系統(tǒng)材料表面的污染物;車燈鍍膜機零部件表面的清潔也是很有必要的，因為污染物引起的氣體和蒸氣源不僅會使真空系統(tǒng)無法獲得所需的真空度。而且由于污染物的存在，還會影響真空部件連接處的強度和密封性能。

真空鍍膜機的污染物可以定義為“任何一種無用的物質或能量”。多弧離子鍍膜機根據污染物的物理狀態(tài)可分為固態(tài)、氣態(tài)和液態(tài)，污染物以薄膜或顆粒的形式存在。就其化學特性而言，它可以是離子態(tài)或共價態(tài)，無機態(tài)或有機態(tài)。

暴露在空氣中的真空鍍膜機表面容易受到污染。污染源有很多，初的污染通常是地表本身的一部分。吸附現象、化學反應、浸出干燥過程、機械處理、擴散和偏析過程都增加了各種組分的表面污染物。真空材料表面的常見污染物如下。

　　①油脂:潤滑劑、切削液、真空油脂等。在加工、組裝和操作過程中被污染;

　?、谒?操作時的手汗、吹氣時的水蒸氣、唾液等。

　　③表面氧化物:材料長時間放置在空氣中或潮濕空氣中形成的表面氧化物;

　?、芩?、堿、鹽類物質:清洗時的殘留物質、手汗、水中的礦物質等。

　?、莪h(huán)境空氣中的拋光殘渣、灰塵和其他有機物等。