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全自動控制系統采用模塊化設計,維護方便,可靠性高,抗干擾性好。雙攝像頭實時采集晶體直徑信息。液面測溫確保下籽晶溫度和可重復性。爐內溫度或加熱功率控制方式可選,保控溫精度。質量流量計控制流量。真空計結合電動蝶閥實時控制爐內真空度。上稱重傳感器用于晶棒直徑的輔助控制。伺服電機和步進電機的混合使用,即可滿足轉動所需的扭矩,又可實現轉速的控制。質量流量計控制流量。自主產權的控制軟件采用視窗平臺,操作方便簡潔直觀。多種曲線和數據交叉分析工具提供了工藝實時監(jiān)控的平臺。完整的工藝設定界面使計算機可以自動完成幾乎所有的工藝過程。加熱電源采用綠色縱向12脈沖直流電源。比傳統直流電源節(jié)能近15%。特殊的溫場設計使晶體提拉速度提高20-30%。
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(4) 電氣硬件設置、本系統的電氣柜內布局采用模塊化集中管理,各個模塊間連接簡單,單個模塊可以帶電維修,電機保護采用空氣開關和絲結合的方法便于操作和維護。同時主要的電氣點都能簡單的在端子板上查出。整個機箱布局合理,簡單。同時帶有雙色聲光報*燈進行提示。