多功用磁控濺射鍍膜系統(tǒng)，由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成，可在高真空蒸鍍腔室中完結(jié)薄膜蒸鍍，并在手套箱高純惰性氣體氣氛下進行樣品的寄存、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸騰鍍膜與手套箱組合，實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測驗等工藝全封閉制造，使整個薄膜生長和器材制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氣氛的系統(tǒng)中，消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響，保障了高功用、大面積有機光電器材和電路的制備。

PETP聚對苯二甲酸乙二醇醋，簡稱聚酯，是繼ABS后又一種滿意三種條件的塑料，所鍍的膜層具有很好的拉伸強度，耐性大。PS聚苯乙烯能夠接受100℃以下的溫度，真空鍍膜的習(xí)慣性也好，無色無味，耐酸堿性，是一種十分好的絕緣資料，不過由于容易脆裂，所以用處不是很廣泛。PC聚碳酸酯也能夠進行真空鍍膜，機械功能和抗沖擊性也好，但價格相對來說比較高，并且在成型時如果控制欠好，容易發(fā)生開裂。PA聚酰胺真空鍍膜后能夠防油防潮，遮光和隔熱功能也十分好，能夠作為出產(chǎn)包裝產(chǎn)品的資料。

與傳統(tǒng)的鍍膜方法相比，真空鍍膜屬于干法鍍膜，其主要方法有以下幾種:

　　1.真空蒸發(fā)

　　其原理是在真空條件下，用蒸發(fā)器加熱蒸發(fā)材料使其蒸發(fā)或升華，蒸發(fā)的離子流直接射向基片，在基片上沉積固體薄膜。

　　2.濺射涂層

　　濺射鍍膜是一種真空條件，在陰極施加2000V高壓激發(fā)輝光放電，帶正電的氬離子撞擊陰極噴出原子。濺射的原子通過惰性氣氛沉積在襯底上形成薄膜。17_副本.jpg

　　3.離子電鍍法

　　即干式螺桿真空泵制造商已經(jīng)推出的真空離子涂層。它是在上述兩種真空鍍膜技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，所以具有兩者的工藝特點。在真空條件下，工作氣體或蒸發(fā)物質(zhì)(膜材料)通過氣體放電被部分電離，蒸發(fā)物質(zhì)或其反應(yīng)物在離子轟擊下沉積在基片表面。在成膜的過程中，襯底總是受到高能粒子的轟擊，這使得它非常干凈。

　　4.真空卷繞涂層

　　真空鍍膜是通過物理氣相沉積在柔性基板上進行連續(xù)鍍膜的技術(shù)，以實現(xiàn)柔性基板的某些功能性和裝飾性。