南通崇川藍(lán)寶石單晶爐回收 真空流量計(jì)回收物流提貨
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為了配合di76．Zmm器件生產(chǎn)線的發(fā)展，我所研制了國內(nèi)臺15～30公斤的DL。78型單晶爐［‘］，并在該單晶爐上研究了48Omm硅單晶的控制工藝［‘］。在控制大直徑硅單晶的過程中，涉及的面比較廣，尤其是從我國原有1公斤、th3orum級的基礎(chǔ)上跳躍到12公斤、680mm硅單晶的拉制工藝，需要研究討論的問題很多，例如，熱場的設(shè)計(jì)、減壓工藝的設(shè)計(jì)與調(diào)整藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計(jì)回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，所述加料器升降驅(qū)動裝置包括升降絲桿91、拖板92和絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，底座1上設(shè)置有立柱10，所述升降絲桿91可旋轉(zhuǎn)地支承在立柱10上，所述拖板92通過螺紋連接在升降絲桿91上，所述加料器旋臂8連接在拖板92上，所述升降絲桿91連接在絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置上，以便通過絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動升降絲桿91旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而將升降絲桿91的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動轉(zhuǎn)換為加料器旋臂8的升降運(yùn)動。具體地，所述絲桿旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括升降電機(jī)93和減速機(jī)94，所述減速機(jī)94連接在升降電機(jī)93的輸出軸上，所述升降絲桿91連接在減速機(jī)94的輸出軸上。
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為了使拖板92更平穩(wěn)地升降，所述立柱10和拖板92之間還設(shè)置有用于導(dǎo)向拖板92的升降的導(dǎo)向裝置，所述導(dǎo)向裝置包括設(shè)置在立柱10上的導(dǎo)軌101和設(shè)置在拖板92上的滑塊，所述拖板92通過滑塊與導(dǎo)軌101的配合滑配在立柱10上。為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述升降絲桿91的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。所述加料器升降驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室2內(nèi)的零部件，所述加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)111、旋轉(zhuǎn)絲桿112、旋轉(zhuǎn)套113和固定座114，所述旋轉(zhuǎn)套113鉸接在拖板92上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112可旋轉(zhuǎn)地支承在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)111安裝在固定座114上，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的一端部和旋轉(zhuǎn)電機(jī)111的輸出軸相連接，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的另一端部和旋轉(zhuǎn)套113通過螺紋連接，所述加料器旋臂8鉸接在拖板92上，以便通過旋轉(zhuǎn)電機(jī)111驅(qū)動旋轉(zhuǎn)絲桿112在旋轉(zhuǎn)套113內(nèi)旋進(jìn)旋出，使得固定座114產(chǎn)生位移，并使固定座114帶動加料器旋臂8旋轉(zhuǎn)。具體地，為了防止?jié)櫥椭瑩]發(fā)污染原料，所述旋轉(zhuǎn)絲桿112的外側(cè)套裝有可伸縮的防塵罩95，所述防塵罩95為波紋防塵罩。
