聚四氟乙烯（Polytetrafluoroethylene, PTFE），俗稱(chēng)“塑料王”的出現(xiàn)，為這一領(lǐng)域帶來(lái)了革命性的變革。自20世紀(jì)中葉由杜邦公司實(shí)現(xiàn)商業(yè)化以來(lái)，PTFE以其的化學(xué)惰性和寬廣的耐溫范圍，迅速成為處理高腐蝕性介質(zhì)的。四氟噴淋桿，即采用PTFE材料通過(guò)特殊加工工藝制成的噴淋系統(tǒng)，地解決了極端工況下的設(shè)備耐久性與可靠性問(wèn)題，成為了工業(yè)傳質(zhì)設(shè)備的核心標(biāo)志。

半導(dǎo)體與電子行業(yè)

應(yīng)用場(chǎng)景：芯片制造過(guò)程中晶圓清洗、蝕刻、CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）工序產(chǎn)生的廢氣（含有HF、HNO?、H?SO?、NH?、有機(jī)溶劑等）洗滌；超純水系統(tǒng)中的沖洗和化學(xué)清洗。

案例：12英寸晶圓廠AMC（氣載分子污染物）控制單元中，使用超純水噴淋洗滌空氣。四氟噴淋桿確保了輸送介質(zhì)的純度，無(wú)金屬離子析出污染風(fēng)險(xiǎn)，滿(mǎn)足了半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)潔凈度的苛刻要求。

常見(jiàn)故障：

噴淋不均勻：通常由噴嘴堵塞或磨損引起。清洗或更換噴嘴。

流量下降：檢查泵和過(guò)濾器，排查管道和噴嘴堵塞。

泄漏：檢查連接螺紋或法蘭密封面，更換墊片或生料帶。

過(guò)度彎曲：檢查支撐是否失效或間距過(guò)大。