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單晶爐簡介編輯/單晶爐是一種在惰性氣體(氮氣、氦氣為主)環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。購買技術(shù)主要要求1.單晶爐裝料量(單臺機產(chǎn)能多少) 2. 能拉多長、幾寸的硅棒 3. 拉制晶棒的成品率是多少4拉出硅棒品質(zhì)(少子壽命、電阻率、碳氧含量、位錯密度) 5設(shè)備制造工藝控制保 6自動化控制程度 7設(shè)備主要關(guān)鍵部件的配置等 。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,特點編輯HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動,便于裝料和維護等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計,提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺的上面,便于平臺下面設(shè)備的維護。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù),簡便干凈。