掌上真空探針臺(tái)，一體式不銹鋼腔體，手動(dòng)調(diào)節(jié)探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置
高低溫探針臺(tái) KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺(tái)，結(jié)構(gòu)小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實(shí)驗(yàn)的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺(tái)采用分體結(jié)構(gòu)，使得探針部分能從整個(gè)探針臺(tái)系統(tǒng)中立出來，可以應(yīng)用于輻照實(shí)驗(yàn)中，該探針臺(tái)也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測(cè)試。多探針結(jié)構(gòu)可實(shí)現(xiàn)多路測(cè)試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測(cè)試數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確。

掌上真空探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T
真空腔體
類型 高溫型室溫到400℃ 高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì) 304不銹鋼 6061鋁合金 可選
腔體內(nèi)尺寸 127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸 150mmX80mmX32mm
腔體重量 不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸 Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口 KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測(cè)量口 KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口 6mm快擰 或 6mm快插
腔體冷卻方式 腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓 ≤0.05MPa
腔體真空度 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì) 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 銀銅合金 純銀塊
樣品臺(tái)尺寸 26x26mm
樣品臺(tái)加熱方式 電阻加熱 電阻加熱 液氮制冷
樣品臺(tái)-視窗 距離 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 PT100型熱電阻
樣品臺(tái)溫度 室溫到400℃ 室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 ±0.5℃
樣品臺(tái)升溫速率 高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示 7寸人機(jī)界面
溫控類型 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率 0.1℃
溫控精度 ±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型 PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出 直流線性電源加熱 直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸 32cmX170cmX380cm
溫控器重量 約5.6KG
探針
電信號(hào)接頭 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米
電學(xué)性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量 4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì) 鍍金鎢針 （其他材質(zhì)可選）
探針尖 10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程 20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
X軸控制精度 ≥500μm
R軸移動(dòng)行程 120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度 ≥500μm
Z軸移動(dòng)行程 2mm ±1mm
Z軸控制精度 ≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）