深圳GSI鉭鈮礦檢測技術(shù)有限公司擁有大型的實(shí)驗(yàn)室,配備精良的測試儀器,與華南地區(qū)各實(shí)驗(yàn)室存在廣泛的合作關(guān)系。我們致力于以能力為客戶搭建一條、快速、優(yōu)惠的檢測認(rèn)證通道;幫助客戶減少開發(fā)風(fēng)險、縮短產(chǎn)品研發(fā)周期、降低產(chǎn)品成本;及時獲得各國市場的準(zhǔn)入證。
深圳鉭鈮礦化驗(yàn)實(shí)驗(yàn)室/檢測中心秉承:管理科學(xué),公平公正;操作規(guī)范,數(shù)據(jù)準(zhǔn)確;安全保密,廉潔自律的質(zhì)量方針和第三方公正實(shí)驗(yàn)室的職業(yè)道德,熱誠為國內(nèi)客戶提供標(biāo)準(zhǔn)、檢測、認(rèn)證工作的服務(wù)。
研究表明,影響氮化鉭薄膜結(jié)合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度,氮分壓比、濺射電流為次要因素;氮分壓對氮化鉭薄膜的硬度影響較大
利用磁控反應(yīng)濺射技術(shù)制備氮化鉭薄膜,對磁控反應(yīng)濺射制備氮化鉭薄膜的工藝參數(shù)(包括氮分壓比、加熱溫度、濺射壓力、濺射電流)用正交設(shè)計進(jìn)行優(yōu)化
氮化鉭靶材合成
1、將金屬鉭粉用氮?dú)饣虬睔庠?100℃左右直接氮化制得;
2、以金屬鉭和氮?dú)鉃樵现苽涞g,反應(yīng)式如下:2Ta+N2=2TaN。
用來制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕