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寧波慈溪提拉式長(zhǎng)晶爐回收螺桿真空泵回收聯(lián)系電話(huà)

更新時(shí)間:2025-10-01 [舉報(bào)]
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特點(diǎn)編輯HD系列硅單晶爐的爐室采用3節(jié)設(shè)計(jì)。上筒和上蓋可以上升并向兩邊轉(zhuǎn)動(dòng),便于裝料和維護(hù)等。爐筒升降支撐采用雙立柱設(shè)計(jì),提高穩(wěn)定性。支撐柱安裝在爐體支撐平臺(tái)的上面,便于平臺(tái)下面設(shè)備的維護(hù)。爐筒升降采用絲杠提升技術(shù),簡(jiǎn)便干凈。
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為現(xiàn)有技術(shù)的切克勞斯基(直拉)法制造硅單晶的直拉式單晶生長(zhǎng) 爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖2為圖1中的輸入管與環(huán)形氣體分布器的結(jié)構(gòu)示意圖3為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的氣流導(dǎo)向裝置的結(jié)構(gòu)示意圖4為圖3的A-A剖面視圖5為為圖3的B-B剖面視圖6為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的剖面結(jié)構(gòu)示意圖7為實(shí)施例1中直拉式單晶生長(zhǎng)爐的另一剖面結(jié)構(gòu)示意圖。分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,直拉硅單晶熱場(chǎng)加熱器設(shè)計(jì)分析\1熱場(chǎng)及加熱器簡(jiǎn)介直拉硅單晶爐的熱場(chǎng)是指為了熔化硅料,并保持在一定溫度下進(jìn)行單晶生長(zhǎng)的整個(gè)溫度場(chǎng)系統(tǒng),主要部件采用石墨材料和炭氈材料[1]。根據(jù)各部分的功能,可以大致分為加熱系統(tǒng)、傳熱及支撐系統(tǒng)、導(dǎo)流系統(tǒng)、保溫系統(tǒng)等。如加熱系統(tǒng)包括加熱器、石墨電極、連接螺栓等部件,傳熱及支撐系統(tǒng)包括石墨坩堝、石英坩堝、托盤(pán)、坩堝軸等部件,導(dǎo)流系統(tǒng)包括導(dǎo)流筒等部件,保溫系統(tǒng)包括保溫蓋、保溫筒、保溫炭氈等部件。熱場(chǎng)溫度區(qū)域的分布,直接影響了拉晶生產(chǎn)是否能順利進(jìn)行,以及晶棒的拉速和品質(zhì)。

標(biāo)簽:提拉式長(zhǎng)晶爐回收
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