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產(chǎn)品規(guī)格及參數(shù)
| 型號/規(guī)格參數(shù)
| SMU-5040EA(2.5D)
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| 工 作 臺
| X/Y軸行程
| 500mm ╳ 400mm
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| Z軸行程
| 調(diào)焦行程200mm，工作距離90mm (可根據(jù)客戶要求定制加高)
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| 大理石 臺面尺寸
| 660mm ╳ 560mm
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| 玻璃臺面尺寸
| 550mm ╳ 450mm
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| 傳動型式
| X/Y軸：采用交叉?zhèn)鲃訉к?絲桿； Z軸：采用直線導軌+絲桿； X/Y/Z三軸進口軸承
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| 光學尺分辨率
| X/Y/Z軸：0.001mm
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| XY測量線性精度
| 3+L/200(μm)
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| XY重復性精度
| 0.003mm
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| 驅(qū)動電機
| CNC伺服電機
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| 攝像機
| 千兆網(wǎng)彩色工業(yè)數(shù)字相機
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| 測量軟件
| INSPEC全自動影像測量軟件，編程操作簡單，易上手 （測量數(shù)據(jù)可按客戶報表格式導出或?qū)隡ES、QMS系統(tǒng)）
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| 鏡頭
| 自動變倍鏡頭 光學放大倍率0.7-4.5X，影像放大倍率20-128X 可通過選配0.5X/2X物鏡，實現(xiàn)放大倍率10-64X/40-256X
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| 可選配
| 同軸光、激光定位導航
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| 探針、激光鐳射頭(測量工件高度)
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| 光源系統(tǒng)
| 表面光源：三環(huán)LED冷光源、壽命長、亮度255級可調(diào)
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| 底光源：LED白色冷光源、壽命長、亮度255級可調(diào)
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| 儀器外形尺寸（L*W*H）
| 1050mm ╳ 1700mm ╳ 1600mm
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| 儀器重量
| 240kg
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