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為了方便副爐室3移動(dòng)到取晶位,并方便副爐室3的拆解、清理,連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13,所述所述副爐室3通過(guò)副爐室旋臂14連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12上,以便通過(guò)副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂14升降,并通過(guò)副爐室旋臂14帶動(dòng)副爐室3升降,所述副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13連接在副爐室升降驅(qū)動(dòng)裝置12和副爐室旋臂14之間,以便使得副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13隨副爐室旋臂14一起升降,并通過(guò)副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置13驅(qū)動(dòng)副爐室旋臂14旋轉(zhuǎn),副爐室旋臂14又帶動(dòng)副爐室3旋轉(zhuǎn)。藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐回收,多晶硅鑄錠爐回收,提拉式長(zhǎng)晶爐回收,多晶長(zhǎng)晶爐回收,臥式長(zhǎng)晶爐回收,拉式單晶爐、收購(gòu)直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收,真空泵回收,真空流量計(jì)回收,plc編程回收,控制屏回收,離子泵回收,渦輪分子泵回收,螺桿真空泵回收,渦旋高真空泵回收,而采用有限元法數(shù)值模擬是一種優(yōu)化單晶爐設(shè)計(jì)的重要工具。本文對(duì)采用矮加熱器的復(fù)合式熱場(chǎng)進(jìn)行了數(shù)值模擬,得到了流場(chǎng)分布圖和熱場(chǎng)溫度分布圖。對(duì)新型熱屏和矮加熱器對(duì)晶體生長(zhǎng)的影響進(jìn)行了系統(tǒng)的理論分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)工作。結(jié)果表明,新型熱屏不僅起到導(dǎo)流筒的作用,改進(jìn)了流場(chǎng),使單晶氧含量下降;而且熱屏解決了大直徑單晶生長(zhǎng)中結(jié)晶潛熱難以散發(fā)的問(wèn)題,大大提高了拉晶速率,降低了生產(chǎn)成本。

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