二 AS9385加壓燒結(jié)銀工藝流程:
1 清潔粘結(jié)界面
2 界面表面能太低,建議增加界面表面能
3 粘結(jié)尺寸過大時(shí),建議一個(gè)界面開導(dǎo)氣槽
4 一個(gè)界面涂布燒結(jié)銀時(shí),涂布的要均勻
5 另外一個(gè)界面放燒結(jié)銀上時(shí),建議加一點(diǎn)壓力到上界面壓一下
6 預(yù)烘階段:150度20-30分鐘,界面是銅的基底建議氮?dú)獗Wo(hù)(金或者銀除外)
7 預(yù)壓階段:150度加壓0.5-1MPa,時(shí)間為:1-3秒;
8 本壓階段:220-280度加壓10-30MPa,時(shí)間2-6分鐘;
9 燒結(jié)結(jié)束時(shí),建議在烘箱中逐步降溫到室溫再把器件拿出。
三 其他建議:
善仁新材研究院在燒結(jié)銀塊體的性能研究發(fā)現(xiàn):隨燒結(jié)溫度升高和壓力加大,燒結(jié)體密度和硬度逐漸增大,尤其在分散劑的分解溫度和原子擴(kuò)散重排溫度區(qū)間,增大的趨勢更加明顯;與此同時(shí),燒結(jié)溫度越高,燒結(jié)銀塊體的熱導(dǎo)率也跟著增大,280℃燒結(jié)銀的熱導(dǎo)率已達(dá)到276W/(m·K)。
2 可靠性不同:AS9375燒結(jié)銀冷熱循環(huán)2000次才出現(xiàn)失效;AS6080普通導(dǎo)電銀膠只能耐200次冷熱循環(huán)。
4 導(dǎo)熱系數(shù)不同:無壓燒結(jié)銀導(dǎo)熱系數(shù)很輕松的可以達(dá)到導(dǎo)熱系數(shù)大于100W/m.K,而普通導(dǎo)電銀膠的導(dǎo)熱系數(shù)有的沒有導(dǎo)熱性,有的導(dǎo)熱系數(shù)會在幾W,據(jù)筆者所知,導(dǎo)電銀膠的導(dǎo)熱系數(shù)達(dá)到20多W就算很高了。
5導(dǎo)電性不同:無壓燒結(jié)銀的體積電阻一般會在10-6Ω.CM級別,AS9375可以達(dá)到4*10-610-6Ω.CM,只比純銀的導(dǎo)電性低60%;而普通導(dǎo)電銀膠的導(dǎo)電性一般會在10-4Ω.CM級別。
6 粘結(jié)器件不同:燒結(jié)銀一般粘結(jié)大功率器件,比如第三代半導(dǎo)體,大功率LED,射頻器件等;導(dǎo)電銀膠粘結(jié)普通的代集成電路封裝,對導(dǎo)電導(dǎo)熱效果要求不高的界面等。