目前,銀燒結(jié)技術(shù)成為國(guó)內(nèi)外第三代半導(dǎo)體封裝技術(shù)中應(yīng)用為廣泛的技術(shù),美國(guó)、日本等碳化硅模塊生產(chǎn)企業(yè)均采用此技術(shù)。
同時(shí)在此基礎(chǔ)上開發(fā)出雙面銀燒結(jié)技術(shù),將銀帶燒結(jié)在芯片正面代替了鋁線,或取消底板將基板直接燒結(jié)在散熱器上,大大簡(jiǎn)化了模塊封裝的結(jié)構(gòu)。
在銀燒結(jié)技術(shù)中,為了防止氧化和提高氧化層的可靠性,需要在基板裸銅表面先鍍鎳再鍍金或鍍銀,同時(shí)燒結(jié)溫度控制和壓力控制也是影響功率模組質(zhì)量的關(guān)鍵因素。