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權利要求1、一種直拉式單晶生長爐，包括設于該爐頂部并伸入爐內的輸入管(12)、與輸入管(12)相連通的環(huán)形氣體分布器(11)；其特征在于經輸入管(12)輸入的氣壓為0.8×10a0.9×10a，流量為30L/min。2、 根據權利要求1所述的直拉式單晶生長爐，其特征在于還包括 設于該爐的坩堝支持器(14)下方和該爐底部的排氣口 (13)之間的氣流 導向裝置(20);該氣流導向裝置(20)為碗形，其包括設于氣流導向裝 置(20)底部的中軸孔(2-1)、設于所述中軸孔(2-1)兩側的一對電 極孔(2-2)、以及設于所述中軸孔(2-1)兩側并與該爐的排氣口 (13)相 對的通氣孔(2-3);該爐的石墨中軸(21)

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