關鍵特性
高純度:靶材廢渣中的金屬雜質(zhì)含量通常 < 0.1%,適合直接再生為靶材原料。
低毒性:不含傳統(tǒng)電鍍中的六價鉻、氰化物,但陶瓷靶材(如 ITO)中的銦屬于重金屬,需防泄漏。
物理形態(tài)多樣:包括粉末(靶材磨損)、塊狀(報廢部件)、薄膜(沉積殘余物),需針對性處理。
廢渣分類與收集
源頭分類
根據(jù)電鍍工藝(如鍍鉻、鍍銅、鍍鋅等)和廢渣形態(tài)(污泥、濾渣、殘渣等)分類收集,避免不同成分混雜增加處理難度。
舉例:含鉻廢渣(六價鉻毒性高)與含鎳廢渣需分開收集,防止后續(xù)處理時交叉污染。
密封存儲
采用防滲漏容器或倉庫存儲,避免雨水沖刷導致重金屬流失污染土壤或地下水。
環(huán)保處理
回收過程中產(chǎn)生的廢液(如含酸、含氰、含重金屬離子)需經(jīng)中和、沉淀、吸附等處理,達到環(huán)保排放標準后排放。
固體廢料(如浸出后的殘渣)若仍含微量貴金屬或有害成分,需進一步安全處置(如固化、填埋)或二次回收。